电热型二维转动MEMS微反射镜研究

摘要：

本文介绍一种二维转动的MEMS微镜器件的电气结构和工作原理，该器件由硅-二氧化硅-铝（钛）组成的电热执行器驱动，其加工工艺与CMOS工艺技术兼容。器件的结构特点与非均匀温度分布使得已有的双压电晶体效应悬梁解析表达式不再适用，而且适于该微反射镜结构和工作特点的解析式会很复杂。鉴于此，本文暂时避开上述障碍，利用有限元工具进行数值模拟，然后结合实验结果进行分析，以指导后续研究。

关键词： 微机电系统 反射镜 电热执行器 数值模拟

作者: 蒋剑良 孙雨南

作者单位: 北京理工大学光电工程系,北京100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）