光纤MEMS压力传感器的理论分析和数值模拟

摘要：

设计了一种基于微机电系统（MEMS）的光纤压力传感器，证明了光纤MEMS 压力传感器在工作状态下可以由法布里-珀罗腔的理论模型进行解释。推导出光纤MEMS 压力传感器中硅横膈膜受到的压力与干涉光强的关系表达式，并且对光纤MEMS 压力传感器的模型进行数值模拟，初步确定了传感器制作过程中各个物理量的取值，为光纤MEMS 压力传感器的加工和制作提供了理论基础。

关键词： 微机电系统 数值模拟 光纤压力传感器 干涉光

作者: 李明 王鸣 王婷婷 聂守平

作者单位: 南京师范大学物理科学与技术学院,南京210097

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）