四极照明光刻成像质量仿真研究

摘要：

本文使用PROLITH、ProDATA、ProLE仿真软件，采用ArF 激光器（波长＝193nm）光源，针对100nm密集、半密集和孤立三种线条，对四极照明方式下，各种光学参数配置在空气中成像所能获得焦深进行了仿真分析。根据仿真的结果给出了优化配置参数的范围，比较了三种线条曝光时的光学成像质量。分析了优化配置参数条件下，波前误差对光学焦深、焦点偏移、图像位置误差的影响情况，仿真的结果可以为优化光学参数配置、公差分配提供参考依据。

关键词： 光刻 成像质量 光学成像 焦点偏移 四极照明

作者: 张飞 李艳秋

作者单位: 中国科学院电工研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）