Si衬底减薄对硅基二氧化硅波导应力双折射影响的数值分析

摘要：

采用有限元法对硅基二氧化硅波导在玻璃化过程中的应力与Si衬底厚度和背面氧化层厚度的关系进行了系统的分析；在此基础上，应用全矢量有限差分束传播法(FD-BPM)对应力光波导的双折射进行了分析。结果表明随着Si衬底厚度的减薄波导附近水平方向和垂直方向所受应力趋于一致，双折射系数B减小；Si衬底背面氧化层的存在使双折射系数略有增大。

关键词： 硅基二氧化硅波导 双折射 有限元法 光波导

作者: 安俊明 班士良 李健 郜定山 夏君磊 李健光 王红杰 胡雄伟

作者单位: 内蒙古大学物理系,呼和浩特,010021;中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 内蒙古大学物理系,呼和浩特,010021 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）