硅基光电子器件研究的新进展（特邀）

摘要：

继硅集成电路不断发展和应用之后，硅基光电子器件研究获得了很大的进展，已经成功研制出硅基发光二极管和激光器、谐振腔增强型和量子点探测器、1GHz高速SOI光波导调制器、4×4 SOI光波导开关等器件。本文综述硅基光电子材料生长、器件的结构和特性，着重介绍这些技术近年来的进展，包括外延生长SiGe量子阱和量子点、研制谐振腔增进型光电探测器和SOI光波导开关阵列的研究结果。

关键词： 光电子集成 量子结构 激光器 光波导 光开关

作者: 余金中

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）