微环谐振滤波器工艺制作过程的研究

摘要：

本文介绍了采用单环微谐振器的光滤波器的基本原理，详细介绍了旋转抛涂法、真空蒸发法、光刻及反应离子刻蚀法等制备微环谐振器的工艺过程。波导包层材料采用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物，以双酚A环氧树脂为高折射率调节剂，采用二者在共聚物中的不同配比来调节芯层材料的折射率。最后给出了初步实验结果。

关键词： 光刻反应 离子刻蚀 光滤波器 谐振器

作者: 徐元哲 马春生 鄂书林 闫欣 张大明 王菲 孙德贵

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院、集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130021

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）