湿法刻蚀LiNbO3脊形波导的研究

摘要：

本文采用质子交换湿法刻蚀的方法在X切LiNbO3基片上制作了脊波导。并且对在不同的质子交换时间下（温度均为230℃）所得到的脊波导做了比较,获得了与预想一致的结果，为以后进一步开展本项工作提供了有用的参考。

关键词： 湿法刻蚀 脊波导 质子交换

作者: 盛志瑞 李锡华 江晓清 杨建义 王明华

作者单位: 浙江大学信息与电子工程学系,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）