用于医用μTAS系统多参量传感器的微型电极阵列的制备工艺

摘要：

随着社会的发展，分析仪器与科学正经历深刻变革，进入了微型全分析系统（μTAS）时代。本文介绍了医用μTAS 系统多参量传感器的微型电极阵列的制备工艺。我们在一块芯片上做 4 组电极，分别测量血糖、总胆固醇、酮体、乳酸的浓度。采用光刻溅射的方法在基片上作出微型电极阵列并溅射一定厚度的 SiO2，然后用湿法刻蚀的方法，腐蚀掉微流路区域，留出液体流路的通道。这样既可以保持微流路表面光滑，易于液体的流动，还具有工艺简单的优点，有很好的发展前景。

关键词： μTAS系统 多参量传感器 电极阵列

作者: 宁春梅 陈才和 崔宇明 高洪宇 唐东林

作者单位: 天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）