一种飞秒激光微加工平台及其应用

摘要：

作为一种新型的激光加工技术，在 MEMS 和 NEMS 研究领域，飞秒激光双光子三维微加工工艺已经越来越受到广泛重视。这种方法具有真三维、高分辨、无掩模以及热影响小等独特优点。

关键词： 激光加工技术 飞秒激光 三维微加工工艺

作者: 黄文浩 祝安定 唐火红 刘宇翔 吴建华 褚家如 夏安东

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026;中国科学院化学所分子反应动力学国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）