磷硅酸盐光波导薄膜材料的溶胶-凝胶法制备

摘要：

本文介绍了利用溶胶-凝胶（Sol-gel）法在硅基二氧化硅上制备用于平面光波导的掺铒磷硅酸盐薄膜材料。利用可变入射角椭圆偏振仪(VASE)、X-射线衍射仪（XRD）、X-光电子能谱（XPS）和原子力显微镜(AFM)对所制备薄膜材料样品进行了测试分析。结果表明，本实验制备出表面平整，颗粒度均匀，透光性好，薄膜厚度可变，玻璃态的,用于平面光波导的薄膜材料。

关键词： 磷硅酸盐薄膜 光波导 溶胶-凝胶

作者: 申践 李爱武 郑杰 张乐天 刘国范 张玉书

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家重点实验室,吉林,长春,130023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）