静电力驱动MOEMS可调谐滤波器的数值分析

摘要：

分析了基于微光机电系统的可调谐滤波器在静电力驱动下的一些特性。介绍了一种自适应算法来解决静电力和结构的耦合问题，用这种算法并借助于有限元分析软件Ansys，计算了200umX200um 矩形薄板在不同电压驱动下的变形，分析了三维变形对滤波器光学特性的影响。

关键词： 微光机电系统 可调谐滤波器 静电力结构耦合 自适应算法 光学特性 有限元分析软件

作者: 沈伟东 黄苏娴 朱勇 刘旭 顾培夫

作者单位: 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）