薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统

摘要：

本文介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统，对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析。该系统由计算机对信号进行采集、分析和判断，根据膜层的不同特点采取相应的监控方式，可以对各种规整和非规整膜系进行监控，自动开闭蒸发源挡板。

关键词： 薄膜滤光片 实时光学监控 监控系统

作者: 林宇翔 章岳光 顾培夫 唐晋发

作者单位: 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）