基于f–θ透镜系统的扫描轮廓检测

摘要：

基于 f-θ透镜系统的扫描测量，是由位相板产生的衍射条纹作为测量基准，测量 FT透镜(傅立叶变换透镜)后焦面上测量光斑的位移变化，通过角度-位移的转换机理，可以实现大尺寸高精密非球面光学零件轮廓的检测。本文介绍了扫描轮廓检测的原理、组成、系统参数的选择及测试的结果。表明这种基于 f-θ透镜系统的扫描轮廓检测系统在量程 1200mm 内，测量分辨率优于 0.1μrad，扫描静态稳定性小于 0.5μrad，测量精度优于 2.0μrad。

关键词： 非球面光学 光学零件 轮廓检测 f–θ透镜系统 干涉测量法

作者: 周仁魁 夏绍建 温利 邹永星

作者单位: 中科院西安光学精密机械研究所,西安,710068 中科院上海应用物理研究所,上海,201800

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）