会议专题

二次非球面干涉检测方法研究

在制造高精度非球面光学元件过程中,能够对元件的面形精度进行正确评价,并提取出有效的面形误差信息量,是指导计算机控制光学非球面元件超精密制造的一项关键技术,也是直接影响工件面形精度收敛效率的一个重要因素,本文针对非球面反射镜光学级检测技术进行广泛探讨,设计出实用型 Dall 补偿器及自准直干涉测量光路。针对课题研究中一具有中心孔抛物面镜制造实例,采取自准直干涉检测方案,得到了 λ/20 的检测结果。

光学元件 非球面加工 干涉检测 Dall 补偿器

程灏波 王英伟 冯之敬

清华大学精密仪器系,北京,100084

国内会议

第五届全国光子学大会

黄山

中文

2004-10-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)