电化学氧化铝模板制备二维光子晶体方法研究

摘要：

通过调节电化学阳极氧化参数以及相应的工艺条件，摸索制备理想有序六方孔排列结构阳极氧化铝模板的工艺，并掌握控制理想有序氧化铝模板周期结构尺寸的方法，满足制备光子晶体的模板，周期排列必须高度有序，并且周期结构尺寸可调，以便配合后期填充共同调节出现光学效应的波长位置的要求。选择模板填充材料和电沉积条件，制备不同介电常数差的两相介质有序排列（二维光子晶体），并对其进行表征。

关键词： 光子晶体 电化学阳极氧化 氧化铝模板 电化学沉积 制备工艺

作者: 韩喻 谢凯

作者单位: 国防科技大学应用化学与材料工程系503教研室,湖南长沙,410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）