用化学辅助离子束刻蚀制作光子晶体的计算机模拟

摘要：

在研究化学辅助离子束刻蚀机理的基础上，提出了一种理想状态下刻蚀光子晶体的最简单的模型，并利用 matlab 软件模拟出来。

关键词： 光子晶体 化学辅助离子束刻蚀 计算机模拟

作者: 单能飞 何小锋 袁哓东

作者单位: 国防科技大学光电科学与工程学院,长沙,410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）