飞秒激光微加工技术研究进展

摘要：

本文主要介绍近两年来飞秒激光微加工技术进展，其中包括飞秒激光微加工原理与实验系统，微加工工艺研究以及双光子飞秒激光三维微器件和三维信息存储研究。对双光子飞秒激光加工点分辨率也进行了有益的探索。

关键词： 飞秒激光 激光微加工 双光子飞秒激光 三维信息存储 三维微器件

作者: 黄文浩

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）