微机电系统及其应用

摘要：

微机电系统(Micro Electro Mechanical Sys-terns.简称MEM，是通过微制造技术将机械单元、传感器、执行器件和电子元件整合到一片微基板的系统装置.这种新兴的机电系统为传统机械科学的发展指明一个重要的前进方向.概述了微机电系统(MEMS)的发展历史及基本技术原理,介绍了MEMS技术在航空航天、医药卫生、光学器件、微能源等方面的应用情况,并对其以后的发展作出展望。

关键词： 微机电系统 传感器 LIGA MEMS技术 微制造技术 光学器件 微能源

作者: 史铁林 钟飞 何涛

作者单位: 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074 湖北工业大学机械工程学院,湖北武汉430068

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年十三省区市机械工程学会学术年会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）