一种微加工型数字式可调光衰减器

摘要：

设计了一种非硅基底MOEMS 可变光衰减器。该器件以电磁线圈驱动齿轮/齿条啮合机构，带动偏心轮，从而移动挡光片调节光衰减量，使其光衰减系数实现了数字化电控调节。对器件的插入损耗以及微驱动机构性能的分析表明，本设计方案在理论上是切实可行的。

关键词： 光纤通信 光衰减器 微机械

作者: 鲍俊峰 曹钟慧 吴兴坤

作者单位: 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,浙江大学,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）