薄铜板的高功率紫外激光微切割

摘要：

本文通过改变不同辅助气体及工艺参数研究高功率紫外激光切割薄铜板的切割性能.结果表明了用氩气作为辅助气体,得到切缝及热影响宽度最小,切割质量最好,氧气作为辅助气体时切割质量最差;在一定范围内,提高激光功率及切割速度有助于减少切缝宽度,降低热影响区面积,获得较好的切割质量.

关键词： 紫外激光 微切割 掩膜 薄铜板 切割性能

作者: 阳建华 陈继民 张帅

作者单位: 北京工业大学激光工程研究院,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年中国机械工程学会年会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1100-1104

在线出版日期: 2005-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）