孪生对靶溅射ZnO:Al材料性能和对电池性能的影响

摘要：

本文讨论了采用孪生对靶直流磁控溅射方法制备ZnO：Al（ZAO)薄膜材料，考察一定工艺条件下制备的ZAO 材料的霍耳迁移率、可见光透射率、反射率等性能，并对其作为倒结构柔性衬底太阳电池顶电极对电池性能的影响进行了研究。

关键词： 孪生对靶 顶电极 电池性能 磁控溅射 薄膜材料 太阳电池

作者: 窦伟山 张德贤 王雅欣 冯凯 宁豪 蔡宏琨 张存善

作者单位: 南开大学信息技术科学学院,天津,300071;河北工业大学信息学院,天津,300130 南开大学信息技术科学学院,天津,300071 河北工业大学信息学院,天津,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）