固态源硒化法制备铜铟镓硒(CIGS)太阳电池

摘要：

本文采用两步法制备CuGaxIn1-xSe2 薄膜，Cu-In-Ga 金属预制层采用铜镓合金靶及铟靶通过磁控溅射方法沉积而成，通过铜靶调整铜的比例，然后采用固态源硒化法在硒蒸气环境中硒化，通过对预制层结构和硒化条件的深入研究，制备出成分及结晶都很好的CIGS 薄膜，粗糙度及附着力也得到很好改善，电池最高转换效率已达8﹪。

关键词： 铜铟镓硒太阳电池 固态源硒化 两步法

作者: 李伟 孙云 李凤岩

作者单位: 光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学 天津300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）