化学水浴沉积 ZnS(O,OH)薄膜研究

摘要：

本文采用化学水浴法，在含有ZnSO4、SC(NH2)2、NH4OH 的水溶液中沉积ZnS(O,OH)薄膜。通过调整溶液中三种组成的比例，发现每种组份对薄膜的沉积速率都有影响，ZnSO4 浓度越高，沉积速率越大；SC(NH2)2 浓度增大，薄膜达到一定厚度不再沉积。XRF 和XRD 测试表明ZnS(O,OH)薄膜中含ZnS 与Zn(OH)2。而Zn(OH)2呈非晶态，热处理脱水后为ZnO 结晶，ZnS 与ZnO 均为立方相；不同衬底上沉积的薄膜厚度、原子配比差别较大，玻璃衬底上薄膜的沉积速率快于镀Mo 玻璃衬底，CIGS 衬底薄膜内Zn 含量较大，S 与氧的含量略低。

关键词： 化学水浴沉积 ZnS 薄膜 太阳电池

作者: 刘琪 敖建平 孙国忠 孙云 何青 刘芳芳

作者单位: 南昌航空工业学院南昌330034 南昌航空工业学院南昌330034;南开大学光电子研究所,天津300071 南开大学光电子研究所,天津300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）