MEMS的计算机辅助设计方法与技术综述

摘要：

MEMS 作为一个多能量域耦合、多学科交叉的复杂系统，一个成功MEMS 设计必须借助于计算机辅助设计。本文结合国际MEMS 计算机辅助设计的最新成果，对MEMS 的设计、建模与仿真方法及其技术进行了详细的论述。对MEMS 器件或系统设计以及MEMS CAD 研究具有参考价值。

关键词： MEMS器件 计算机辅助设计 仿真方法 结构化设计

作者: 霍鹏飞

作者单位: 中国兵器工业集团第212 研究所 西安710065

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会制导与引信专业信息网学术交流会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）