超分辨近场结构之纳米光刻技术

摘要：

超分辨近场结构(Super-RENS)是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技术。本文介绍了超分辨近场结构的基本原理及其在纳米光刻方面的应用，拓展了超分辨近场结构的外延：在近场范围内，能实现超过衍射极限的纳米多层膜结构。提出了局域表面等离子体增强效应在高密光存储、纳米光刻等纳米光子学研究领域具有重要的科学意义和应用价值。

关键词： 超分辨近场结构 近场光学 纳米光刻技术

作者: 王沛 张斗国 唐麟 鲁拥华 焦小瑾 明海

作者单位: 中国科学技术大学物理系,安徽,合肥,230026

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）