基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究

摘要：

利用硅刻蚀技术，包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合，可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件，将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作，并将集成微镜应用于多种集成光子器件的输入/输出接引端，还将集成微镜用于阵列波导光栅的制作。

关键词： SOI材料 集成光学 光波导 微镜 分路器

作者: 杨建义 唐衍哲 王文辉 贾科淼 江晓清 李铁 吴亚明 王跃林

作者单位: 浙江大学信息与电子工程学系,杭州,210027;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050 浙江大学信息与电子工程学系,杭州,210027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）