电铸金刚石-镍复合膜微观应力分析

摘要：

本文介绍了用X 射线衍射法(XRD)测量多晶体微观应力的基本原理,用单波法计算了电铸金刚石-镍复合膜的显微应变,并用扫描电镜(SEM)观察了该复合膜的表面形貌.结果发现:在实验所用电流密度范围内(0.6-3.5 A/dm2),随着电流密度的增加,显微应变减小.

关键词： 金刚石 镍复合膜 显微应变 微观应力 X射线衍射法 表面形貌

作者: 方莉俐 张兵临 姚宁

作者单位: 郑州大学物理工程学院教育部材料物理重点实验室,郑州,450052;中原工学院数理系,郑州,450007 郑州大学物理工程学院教育部材料物理重点实验室,郑州,450052

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年中国机械工程学会年会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 383-387

在线出版日期: 2005-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）