数字伺服聚焦非接触位移传感器的研究

摘要：

研究了一种以整体线切割设计的音圈电机为驱动的聚焦式位移传感器,它具有很好的静动态特性.音圈电机采用两次精确找焦的方法得到焦点的位置,利用数字伺服控制方法,对于不同的材料表面及有一定角度的表面检测失焦时进行特殊处理,使得该传感器能够精确快速找到焦点。

关键词： 非接触位移传感器 音圈电机 表面形貌检测 数字伺服控制 自动聚焦

作者: 邹华东 谢铁邦

作者单位: 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年十三省区市机械工程学会学术年会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）