基于垂直位移扫描工作的表面轮廓综合测量仪

摘要：

介绍了一种以保持杠杆处于平衡位置为测量前提,以衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统的表面轮廓综合测量仪.重点论述了该仪器的整体结构,测量原理,以及衍射光栅干涉位移测量系统的工作原理。

关键词： 表面轮廓测量仪 杠杆平衡 衍射光栅干涉 位移传感器 位移测量系统

作者: 孙艳玲 谢铁邦

作者单位: 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年十三省区市机械工程学会学术年会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）