基于垂直位移扫描工作的表面轮廓综合测量仪
介绍了一种以保持杠杆处于平衡位置为测量前提,以衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统的表面轮廓综合测量仪.重点论述了该仪器的整体结构,测量原理,以及衍射光栅干涉位移测量系统的工作原理。
表面轮廓测量仪 杠杆平衡 衍射光栅干涉 位移传感器 位移测量系统
孙艳玲 谢铁邦
华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074
国内会议
宜昌
中文
2005-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
表面轮廓测量仪 杠杆平衡 衍射光栅干涉 位移传感器 位移测量系统
孙艳玲 谢铁邦
华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074
国内会议
宜昌
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2005-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)