有机波导光功率分束器的设计与制作工艺研究

摘要：

本文介绍 Y 分支结构的光功率分束器在设计过程中所要考虑的几个重要方面，其中包括波导宽度的计算，消除分支波导间的耦合等内容。并对采用有机聚合物材料 PMMA 制作 Y 分支结构光功率分束器的工艺过程进行了探索，重点研究了铝掩模聚合物光功率分束器的制作工艺。这种方法对其他有机聚合物光波导器件的制备具有一定的参考价值。

关键词： Y 分支光波导 分束器 聚合物

作者: 王海涛 张希珍 王菲 张海明 高强 李德辉 张大明

作者单位: 集成光电子国家重点联合实验室吉林大学实验区,长春市解放大路119号,130021

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）