大功率AlGaInP压应变量子阱激光器的研制及特性分析
通过Zn扩散方法制备了具有窗口结构的实折射率GaInP/AlGaInP压应变分别限制量子阱激光器。所用材料在15°偏角的GaAs衬底上由有机金属气相外延(MOCVD:Metalorganic Chemical Vapor Deposition)一次外延生长得到,制备的激光器具有双沟脊波导结构,条宽和腔长分别为3μm和600μm,前后端面分别蒸镀10﹪90﹪的增透膜和高反膜。分析了室温连续激射时激光器的光电输出性能。室温下阈值电流的典型值为23 mA,输出功率为40mW时仍可保持基横模工作。室温下,40 mW连续激射时的工作电流为62mA,斜率效率为1 W/A,平行结和垂直结的远场发散角分别为10o和32o,激射波长为656.4nm。器件的内损耗为4.1cm-1,内量子效率达80%,透明电流密度为648 A/cm2。
半导体激光器 量子阱激光器 连续激射 光电输出特性
徐云 曹青12 宋国峰 朱晓鹏 李玉璋 郭良 陈良惠
中科院半导体所,北京,100083 中科院半导体所,北京,100083;惠州市中科光电有限公司,516023
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2004-10-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)