磁控溅射工艺影响氧化锌薄膜的晶体结构研究

摘要：

氧化锌薄膜作为一种多用途的半导体材料，一直受到国内外学术界的广泛关注，高质量的ZnO 薄膜在光电子技术中将得到广泛的应用。本文利用磁控溅射方法制备了性能较好的 ZnO 薄膜，通过改变各种工艺因素，从而改变薄膜生长参数，讨论生长参数对薄膜晶体结构的影响。

关键词： 氧化锌薄膜 磁控溅射工艺 晶体结构

作者: 潘志峰 袁一方 宋连科 吴涛

作者单位: 上海理工大学光电学院,上海,200093;济宁医学院物理教研室,山东,济宁,272013 上海理工大学光电学院,上海,200093 曲阜师范大学激光研究所,山东,曲阜,273165 济宁医学院物理教研室,山东,济宁,272013

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）