准分子脉冲激光(KrF)的化学气相掺杂研究

摘要：

本文应用准分子脉冲激光KrF (248 nm) 和BCl3气体研究了激光化学气相的掺杂特性。应用C-V法对P-Si(100)掺杂样品的杂质浓度进行了分析, 发现脉冲激光气相掺杂与激光能量密度有密切关系，其能量密度阈值为0.75J／cm2。在一定的能量密度下，通过控制脉冲激光数, 可实现δ-掺杂、调制掺杂和P＋型重掺杂等不同要求的掺杂。说明应用脉冲激光可进行有效的调制掺杂，可精确地控制器件各层中的载流子浓度分布。

关键词： 准分子脉冲激光 δ掺杂 脉冲激光

作者: 马锡英 施维林

作者单位: 绍兴文理学院数理信息学院物理系,光电材料研究所,绍兴,312000 兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）