自适应光学系统中大有效反射面积可变形反射镜的设计与制造

摘要：

文章介绍了一种大有效反射面积的连续表面变形镜的设计制造方法。首先从理论上给出了变形镜的物理模型及仿真结果，分析了此方案的特点，着重从解决 MEMS 工艺制造大表面积器件上给出了新的思路。并给出了实验制造的产品，分析了在大有效反射面积的变形镜制造过程中遇到的凸角补偿，阳极键合，划片等问题，给出了解决方案。

关键词： 自适应光学系统 变形镜 静电驱动 体硅工艺 凸角补偿

作者: 汪超 陈海青 余洪斌

作者单位: 华中科技大学光电子工程系,湖北,武汉,430074;北京大学微电子学研究所,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）