空气阻尼效应对微驱动器响应时间的影响

摘要：

本文从平板电容式微驱动器的模型出发，通过求解雷诺方程，得到了空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式。结合动力学方程，介绍了微驱动器响应时间的求解方法。计算结果表明，空气压膜阻尼效应是影响器件响应时间的重要因素。当考虑空气阻尼效应时，响应时间显著增大，其数值由不足 1ms 增大到 10ms 左右。

关键词： 微驱动器 雷诺方程 空气压膜阻尼 响应时间

作者: 孙东明 董玮 郭文滨 王国东 刘彩霞 徐宝琨 陈维友

作者单位: 吉林大学,集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,吉林,长春,130023 吉林大学,集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,吉林,长春,130023;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130021

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）