制作微器件的超声电解复合微细加工试验研究

摘要：

本文提出一种制造MEMS微器件的新技术--超声电解复合微细加工;构造超声电解复合微细加工试验系统,设计微细加工工具电极,进行一系列微细加工基础工艺试验,验证超声-电解复合加工技术在微器件加工中的可行性;展示了此项技术在提高微细加工精度、效率等方面的优势;研究成果对拓展超声电解复合微细加工技术的应用、完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值.

关键词： 电解加工 微细加工 微器件 超声加工

作者: 朱永伟 云乃彰 吴冰杰

作者单位: 扬州大学机械工程学院,扬州,250001;南京航空航天大学机电学院,南京,210016 南京航空航天大学机电学院,南京,210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年中国机械工程学会年会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 958-963

在线出版日期: 2005-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）