氧化硅阻隔膜的制备及对水蒸气的阻隔特性研究

摘要：

利用强流电子束蒸发技术在厚度为12μm 的PET 基材上制备了阻隔性能优良的高阻隔SiOx 薄膜。所制备的SiOx 薄膜无色透明，与基材附着牢固；PET 基材上的SiOx 薄膜厚度不同，对水蒸气的阻隔性能不同。膜厚为340nm～3200nm 时，阻隔性能可提高1～32 倍。通过控制蒸发速率和蒸发时间可以控制SiOx 薄膜的厚度、致密性和表面光洁度，通过控制基材温度可以控制SiOx 薄膜在PET 薄膜上的附着牢度。

关键词： 氧化硅薄膜 阻隔性能 包装薄膜 电子束蒸发

作者: 王正铎 张跃飞 葛袁静 张广秋

作者单位: 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室,北京102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第九届包装工程学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）