连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜研究

摘要：

采用连续与脉冲射频（RF）等离子体两种放电模式合成低表面能薄膜SiCxOy，通过对薄膜的性能表征：X 射线光电子能谱（XPS）测量薄膜表面成分，扫描电子显微镜（SEM）测量形貌，接触角测量表面能等发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份，决定膜的表面能数值大小，认为采用脉冲射频（RF）等离子体更易合成低表面能聚合物。

关键词： 射频等离子体 连续脉冲模式 低表面能薄膜 聚合物薄膜

作者: 陈强 张跃飞 张广秋 葛袁静 庞华 陈光良

作者单位: 北京印刷学院等离子体物理与材料研究室,北京102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第九届包装工程学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）