大口径光学薄膜透反射率测量方法的研究

摘要：

本文设计了大口径光学薄膜透、反射率自动测量系统，该系统能在宽波段、大角度范围内进行自动测量；重点论述了大角度测量厚度较大的样品时机械结构的实现；介绍了系统光路的设计和数据采集部分的实现；分析了测量误差的主要来源,并提出相应的解决办法。

关键词： 光学薄膜 大口径 透射率 反射率 自动测量

作者: 谢云 刘骏 李海峰 刘旭 顾培夫

作者单位: 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）