双单光束互换光学头方光斑激光直写系统设计

摘要：

本文设计了一种具有双单光束互换光学头激光直写系统来实现不同特性的衍射器件的光刻输出，用双远心投影透镜组获得方形光斑并以逐点模式进行运行，改善了光刻图像质量并提高了系统的运行效率，解决了在同一幅光刻胶干板上同时进行具有微米量级干涉条纹的衍射光变图像和二元位相图形的直写问题。具有双光束干涉调制的衍射图像分辨率达到2540dpi，方光束点尺寸为5 - 20 微米。给出了衍射图像和两台阶二元位相编码图形的制作结果。

关键词： 二元光学 衍射图像 激光直写 干涉光学头

作者: 陈林森 解剑峰 沈雁 邵洁 汪振华 胡元

作者单位: 教育部现代光学技术重点实验室,苏州大学信息光学工程研究所,苏州215006

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）