晶体硅扩散层有效杂质浓度分布的测量

摘要：

本文利用阳极氧化去层结合四探针测量方块电阻的方法可以得到半导体扩散层中有效杂质浓度分布曲线。通过提出一个分段函数对n 型硅的迁移率实验曲线进行拟合，使得分布曲线与实际分布更加接近。

关键词： 有效杂质浓度分布 迁移率 分段函数 阳极氧化

作者: 屈盛 刘祖明 廖华 陈庭金

作者单位: 云南师范大学太阳能研究所,云南省农村能源工程重点实验室,云南,昆明,650092

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）