化学制绒液失效机理分析

摘要：

本文分析了NaOH制绒溶液在晶体硅表面个向异性腐蚀机理。对提高初配溶液的各向异性因子和控制溶液失效问题，给出了实用的解决办法。

关键词： 绒面 溶液失效 晶体硅 制绒溶液 腐蚀机理

作者: 张忠文

作者单位: 云南半导体器件厂 昆明650033

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）