工业化生产多晶硅太阳电池体内钝化的研究
由于多晶硅材料质量的不均匀性，给工业生产太阳电池电性能一致性的有效控制带来一定的难度，本文旨在针对优化多晶硅材料电特性通过等离子增强化学气相沉积在多晶硅表面沉积a-SiNx:H 经过高温热处理对材料进行表面与体内钝化，从本质上整体提高太阳电池材料的质量，进而提高太阳电池电性能的一致性。实验首先对双面氮化硅钝化和铝致钝化进行了比较，再经过对氮化硅成分和热处理过程的优化，研究出适合于工业大规模生产的最佳钝化条件。实验中，通过准稳态光电导少子寿命测试法在强注入条件下测量不同方法钝化后的有效少子寿命及比较电池对特定波长单色光的相对量子效率来定性的评价钝化效果。采用该钝化条件，工业丝网印刷多晶硅电池平均效率达到15.0﹪，电性能不均匀度有效的控制在4.4﹪。
铝致钝化 体内钝化 太阳电池 多晶硅
李华 邵爱军 杨健 汪义川 季静佳 施正荣
无锡尚德太阳能电力有限公司 214028
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2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）