用质谱法测量SiH4辉光放电中性基团的空间分布

摘要：

本文设计了一个取样位置能在电极间自由调节的取样装置，用质谱法首次测量了SiHn (n=0-3)基团的空间相对丰度分布。SiH4 的消耗率是计算中性基团的关键参量，一种线性拟合的方法被提出来计算SiH4 的消耗率。SiHn (n=0-3)基团的空间相对丰度分布表明：在等离子体空间，SiH2、SiH3 的丰度要比Si 和SiH 大，这表明SiH2 和SiH3 可能是沉积薄膜的主要基团。

关键词： 质谱法 中性基团 消耗率 空间分布 线性拟合

作者: 王照奎 林揆训 林璇英 邱桂明 祝祖送

作者单位: 汕头大学物理系,汕头,广东515063

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）