热屏对Ф200mmCZSi热系统的温场的影响

摘要：

温场对晶体生长十分重要。本文测量了采用不同热屏热场的熔硅纵向温度梯度，发现加强复合式热屏使熔体纵向温度梯度增加，能有效的提高单晶的生长速率和晶体内在质量。

关键词： 温度梯度 热屏 晶体生长 生长速率

作者: 赵龙 赵秀玲 任丙彦 王会贤 张学强 曹中谦 朱惠民 傅洪波

作者单位: 河北工业大学材料学院信息功能材料研究所 天津300130 河北宁晋晶隆半导体厂 河北055550 云南半导体器件厂 昆明650033

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）