近空间升华制备CdTe多晶薄膜沉积过程的研究

摘要：

近空间升华技术制备CdTe 多晶薄膜中，薄膜的结构、性质决定于整个沉积过程。深入研究沉积过程中的热交换、物质输运，有助于制备薄而致密的具有进行良好光电性质CdTe 薄膜。本文首先分析了近空间沉积的物理机制，然后测量了近空间沉积装置内温度分布，讨论了升温过程、气压与薄膜的初期成核的关系，优化升温过程，在此基础上制备出了转换效率为6.46﹪的结构为SnO2:F/CdS/CdTe/Au 的集成电池。

关键词： CdTe 近空间升华 多晶薄膜 转换效率

作者: 郑华靖 雷智 谢二庆 张静全 冯良桓 蔡亚平 蔡伟 郑家贵 武莉莉 李卫 黎兵

作者单位: 兰州大学物理系,兰州730000;四川大学材料科学与工程学院,成都610064 四川大学材料科学与工程学院,成都610064 兰州大学物理系,兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）