调谐单探针研究等离子体电子特性

摘要：

本文采用加热的调谐单探针研究了射频辉光放电等离子体空间电子能量分布函数，电子平均能量和电子密度，并系统地分析了各工艺参量对于等离子体空间电子特性的影响。

关键词： 调谐单探针 射频辉光放电 等离子体 电子密度

作者: 魏俊红 林璇英 赵韦人 池凌飞 余云鹏 林揆训 黄锐 余楚迎

作者单位: 汕头大学物理系,汕头,广东515063

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）