纳米技术在测量科学中的研究现状与发展趋势

摘要：

文章首先给出纳米及纳米测量的概念，接着从光学和非光学测量系统着手，阐述了几种主要的纳米测量技术，并对纳米测量系统的各组成部分的技术进行详细论述，最后回顾了国内外纳米测量技术的发展现状，并在此基础上,阐述了纳米测量技术今后的发展方向及目前存在的问题。

关键词： 纳米测量 扫描隧道显微镜 激光干涉 外差干涉仪

作者: 崔惠绒 林家明

作者单位: 北京理工大学光电工程系421教研室,100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）