枕型二维位置敏感探测器(PSD)的研制

摘要：

本文证明了枕型二维PSD设计的基本原理-Gear定理,并指出了适用于枕型二维PSD的位置计算公式，此外本文还提出了枕型PSD的制作工艺和测试结果。采用IC工艺技术所研制的枕型PSD器件表现出良好的光电特性和测量准确度，测试表明，其位置线性度可比四边形二维PSD高出一个数量级，达到了1.1 ﹪。

关键词： 光电效应 位置敏感探测器 硅光电探测器

作者: 唐九耀 林进军 孙晓斌

作者单位: 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,310027,杭州;浙江大学物理系,310027,杭州 浙江大学物理系,310027,杭州

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）