衬底材料对微晶硅薄膜结构特性的影响

摘要：

采用PECVD 技术，在不锈钢和玻璃衬底上沉积μc-Si:H 薄膜。用拉曼光谱分析和研究了沉积温度、沉积功率和硅烷含量分别对在两种衬底沉积上的薄膜的结构特性的影响。研究发现，在相同条件下，在沉积温度不太高（≤400℃）时，玻璃衬底上沉积的薄膜的晶化率高于不锈钢衬底上沉积的薄膜的晶化率。但玻璃衬底上沉积的μc-Si:H 薄膜的晶硅散射峰值高于相同条件下在不锈钢衬底上沉积的薄膜的晶硅散射峰值。

关键词： 等离子体 化学气相沉积 氢化微晶硅薄膜 拉曼散射谱 晶化率

作者: 陈永生 杨仕娥 卢景霄 王海燕 张宇翔

作者单位: 郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室,郑州450052

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）